请问：栅氧化层多薄才算薄栅mos？tox=5e-8m，算是薄栅mos吗？

zsxin · 发表于 2010-8-13 19:28:58

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

acrofox · 发表于 2010-8-19 22:23:45

这个问题恐怕就跟“1米75的个头是高个子吗”一样难以回答。

fuyibin · 发表于 2010-8-23 17:59:02

请问：栅氧化层多薄才算薄栅mos？tox=5e-8m，算是薄栅mos吗？
zsxin 发表于 2010-8-13 19:28

登录/注册后可看大图

.18工艺 tox=4nm
65nm工艺 tox=2nm
你那个tox=50nm的就不知道是什么工艺了，1um? 2um？

[求助] 请问：栅氧化层多薄才算薄栅mos？tox=5e-8m，算是薄栅mos吗？