紫外光刻机中紫外线传感器GVGR-T11GD的应用

凤凰火

随着电子工业的快速发展，对作为电子元器件基础的印刷电路板及其加工精度的要求越来越高。其中，光刻是芯片制造中的图案化过程，能够将图案从光掩模转移到衬底上。光刻设备是微结构加工的核心设备，广泛应用于微电子、生物、医学和光学等领域。

现在市面上大部分的芯片都属于电子芯片，当电子芯片的工艺小于一定规模时，就必须依靠光刻机来做芯片。也就是说，没有光刻机，就没有办法做出顶级芯片，比如市面上的7nm芯片、5nm芯片。芯片在生活中很重要，比如电脑、手机等电子产品。

光刻就是制作芯片制作所需的电路和功能区域。利用掩模光刻机发出的光，通过带有图案的掩模对涂有光刻胶的薄片进行曝光，光刻胶看到光后会改变其性质，从而可以将掩模上的图案复制到薄片上，使薄片具有电子电路图的功能。这就是光刻的作用，类似相机摄影。相机拍摄的照片印在底片上，但电路图和其他电子元件是用光刻法蚀刻的，而不是照片。

紫外光刻的原理是在切割好的晶圆(通常是多晶硅)上覆盖一层高感光的光刻胶，然后通过掩膜版用光(通常是紫外光、深紫外光、极紫外光)照射晶圆表面。紫外光照射的光刻胶会发生反应。之后，用特定的溶剂清洗照射/未照射的光刻胶，并将电路图从掩模转移到晶片上。简单来说就是用紫外线将多层电路图刻在晶圆上，这个过程中必须使用光刻机。

需要注意的是，紫外光刻机对光源有一定的要求：

1、紫外线的波长要适中。波长越短，可以曝光的特征尺寸越小，光刻的刀片越锋利，刻蚀的精度控制要求越高。

2、紫外线强度应该足够。能量越大，曝光时间越短；

3、紫外线曝光能量必须均匀分布在曝光区域。

紫外线传感器是一种检测紫外线强度的元件，可以用于检测紫外光刻过程中紫外线的能量情况，工采网技术工程师推荐以下两款紫外线传感器：

韩国GENICOM 紫外线传感器 - GUVA-T11GD-L，具有良好的可见盲，光伏模式操作，高响应，低暗电流，应用于全UV波段监控，UV-A灯监控，可广泛应用于：紫外线强度检测和控制，UV指数检测。

韩国GENICOM 可见光传感器 - GVGR-T10GD，芯片小于0.4mm，TO-46封装，使用的铟镓氮材料，内含PN型光电二极管，光伏模式操作，高响应，低暗电流。