MIM电容的连接方式

xyh_hat · 发表于 2021-11-23 17:34:14

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MIM电容

关于MIM金属电容极板怎么和金属1相连，版图新手做课设。我用的是cadence画的版图，图中我直接把金属6连接到金属1是不是有问题，是不是要打孔什么的，求大佬解答。

ywbeloved · 发表于 2021-11-23 17:35:42

你的问题描述不清晰哇。总共几层Metal，MIM电容在哪两层Metal之间？

奔呆波 · 发表于 2021-11-23 17:54:50

从你的问题猜测你的MIM电容使用的是M5-M6(或者M6-M7，假设你用的M5-M6)。
因为M6到M1之间还有M5到M2的线层，所以M6连接到M1上去需要通过通孔(一般表示为VIA)一层一层的从M1到M6。
比如：M1-VIA2-M2-VIA3-M3-VIA4-M4-VIA5-M5-VIA6-M6.

xyh_hat · 发表于 2021-11-23 19:44:29

奔呆波发表于 2021-11-23 17:54
从你的问题猜测你的MIM电容使用的是M5-M6(或者M6-M7，假设你用的M5-M6)。
因为M6到M1之间还有M5到M2的线层 ...

感谢分享

m8510a · 发表于 2023-4-20 16:33:20

奔呆波发表于 2021-11-23 17:54
从你的问题猜测你的MIM电容使用的是M5-M6(或者M6-M7，假设你用的M5-M6)。
因为M6到M1之间还有M5到M2的线层 ...

M（n+VIAn+M（n+1）

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