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查看: 1780|回复: 5

[求助] 金属层是什么材质??求助求助

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发表于 2021-11-2 16:03:44 | 显示全部楼层 |阅读模式

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想请教一下各位大神,一般金属层都是用Cu还是Al啊?拿到了PDK找了一遍,只找到了每层金属的厚度,材质成分找不到哇。。。。
发表于 2021-11-2 16:21:25 | 显示全部楼层
不同工艺材质不同,还是要看pdk的相关文档啊。
 楼主| 发表于 2021-11-2 16:32:12 | 显示全部楼层


billgolden 发表于 2021-11-2 16:21
不同工艺材质不同,还是要看pdk的相关文档啊。


主要是在PDK里没找着,只找到了每层的厚度,材质找不到
发表于 2021-11-19 14:46:51 | 显示全部楼层
底层金属基本都是铜互连吧,到了顶层金属降成本是考量之一,铝就可以了,顶层厚度大部分都是14.5埃和28埃,实际上从design rule或者把DRC file打开在文件头部都能找到
 楼主| 发表于 2021-11-19 14:50:28 | 显示全部楼层


LYS013 发表于 2021-11-19 14:46
底层金属基本都是铜互连吧,到了顶层金属降成本是考量之一,铝就可以了,顶层厚度大部分都是14.5埃和28埃, ...


感谢您的回复,学到了
发表于 2024-1-11 22:10:25 | 显示全部楼层
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