用网络分析仪建CAL KIT

易捷测试

       微波集成电路工作在微波和毫米波波段，由微波无源有源元件、传输线和互连线集成在一个基片上。随着微波集成电路技术和制作工艺的发展，集成电路的集成度更高，基片面积更小。作为通用微波测量仪器的矢量网络分析仪，利用其对微波集成电路进行在片测试，即直接在晶圆上进行微波集成电路S参数测试，难度也更高。由于微波集成电路与矢量网络分析仪无法直接相连，因此测量需要引入夹具或探针台、或封装、或利用键合引线等。

如果利用探针台配合网络分析仪进行晶圆级S参数测试会涉及到校准的问题，那么如何利用网络分析仪将探针及电缆的寄生参数校掉呢？

晶圆级校准业内使用比较多的是SOLT的校准方式，通常提供探针的厂家会配套提供相应的校准片用于探针的在片校准，下图所示是台湾MPI公司的探针及校准片。

         

                               
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  校准片上有SOLT的校准结构，利用探针接触校准片上的各个校准结构，连接网络分析仪即可实现在片校准。


   通常网络分析仪在出厂时，内部并没有各品牌探针的校准文件（Cal Kit），这就需要我们在校准前建立一个Cal Kit。点击 MPI的探针、Keysight的PNA为例做Cal Kit的创建。


    系统集成解决方案供应：易捷测试
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very good