纳米定位台是一个集成了电容传感器的微动平台吗？所有的纳米定位台都可以吗？

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纳米定位台是一个集成了电容传感器的微动平台吗？所有的纳米定位台都可以吗？

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NM-Z-15A是一个压电扫描柔性引导平台，该平台集成电容位移传感器。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。
其特点是高于纳米级的分辨率和重复性。这个平台是用来测量轴偏差极端微小角度偏差，用在扫描探针显微镜末端和其他不能容忍微小偏差的应用。