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[资料] 光刻的一些论文

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发表于 2011-4-29 12:03:41 | 显示全部楼层 |阅读模式

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超大规模集成电路光学光刻技术的现状与展望.pdf (312.61 KB, 下载次数: 17 )
abbr_688a99c718e19636613d5c3aebb0881b.pdf (348.47 KB, 下载次数: 11 )
超大规模集成电路与同步辐射光刻.pdf (508.79 KB, 下载次数: 10 )
超大规模集成电路制造工艺中的光刻及掩模技术.pdf (209.75 KB, 下载次数: 31 )
超微细加工及设备.pdf (96.53 KB, 下载次数: 14 )
大规模集成电路制作中的光刻技术_紫外线曝光和电子束曝光.pdf (2.08 MB, 下载次数: 14 )

高精度光刻机及其在大规模集成电路上的应用.pdf (798.51 KB, 下载次数: 11 )

光刻的现状及动向2.pdf (252.73 KB, 下载次数: 12 )

光刻的现状与动向.pdf (239.26 KB, 下载次数: 20 )

光刻工艺参数的优化方法.pdf (166.57 KB, 下载次数: 27 )

光刻技术的发展与光刻胶的应用.pdf (1.03 MB, 下载次数: 14 )

光刻与光刻胶的研究与发展.pdf (498.51 KB, 下载次数: 14 )

硅片加工中的光刻技术.pdf (511.5 KB, 下载次数: 31 )

集成电路_光刻工艺.ppt (1007.5 KB, 下载次数: 8 )
苏州瑞红正性光刻胶领先国际水平.pdf (93.7 KB, 下载次数: 8 )

现代光刻技术简况.pdf (723.11 KB, 下载次数: 18 )

自动光刻工艺.pdf (291.04 KB, 下载次数: 13 )
发表于 2011-4-29 16:19:29 | 显示全部楼层
能不能把几个压缩 下 ,传啊 这样 让人怎么下啊
发表于 2011-10-7 22:35:31 | 显示全部楼层
好老啊...............
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