求教smic18工艺里电容怎么连

linxls · 发表于 2009-4-8 10:17:10

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小弟最近正在画版图，所用工艺为smic18工艺。貌似该工艺自带PDK（不清楚是不是实验室老师自己做的

）
电容用PDK掉出来后发现是两层金属，M3和M4，再加上AA层和V3的孔。M3和M4并没有相连接，我在连电容的时候用的是金属2连到电容的两端，然后用两层孔M2-M3和M3-M4打上去。但是在做LVS的时候发现版图里不识别电容...
是不是我的连接方法不对，请高手指点，谢谢！

anyer · 发表于 2009-4-8 11:39:29

不要直接在电容两端打孔，用M3和M4连出来后在外面打孔。

zzfwy · 发表于 2009-4-8 16:10:56

是做的MIM电容吗?总共有多少层METAL

montgo · 发表于 2009-4-8 16:29:51

二楼是比较正确的吧

bayasina · 发表于 2009-4-9 14:56:23

顶~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

syxrtjg · 发表于 2009-4-10 22:22:57

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linxls · 发表于 2009-4-11 13:25:58

总共只有两层金属，还有就是V3的通孔
现在我的连法是用M4连上去然后在外面打孔，但是做LVS的时候还是不识别，通不过...
不知道怎么回事啊

liufes · 发表于 2009-5-8 12:34:59

xue xi le ..

nichole.fan · 发表于 2013-11-24 07:58:58

可能你没有在LVS文件里设置TOPMETAL 4 哦

QQ874283381 · 发表于 2013-12-10 15:13:44

我不是很清楚，之前用别的工艺做过金属电容，不识别是电容的话，是不是需要金属层上面需要加个电容识别层呀

syxrtjg syxrtjg 当前离线积分 75 头像被屏蔽	发表于 2009-4-10 22:22:57 \| 显示全部楼层提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽
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