高压MIM电容

hnxyssy · 发表于 3 天前

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请问各位知不知道什么工艺下有80V的MIM电容

omityoung · 发表于 3 天前

如果两端压差需要80V，那不可能有的。
如果两个压差5V，对地压差80V，是有的。
mim是通过减小版间space来提供较大的电容，这个space越少，单位容值越大，但耐压也就越低
在80V下，金属线上下层耐压都会有问题。

高压只会有插指mom电容。

hnxyssy · 发表于 3 天前

omityoung 发表于 2025-1-10 17:59
如果两端压差需要80V，那不可能有的。
如果两个压差5V，对地压差80V，是有的。
mim是通过减小版间space来提 ...

我在这篇I里面看到了用了80V的MIM Cap:

A 50.7% Peak Efficiency Subharmonic Resonant Isolated Capacitive Power Transfer System with 62mW Output Power for Low-Power Industrial Sensor Interfaces
但是我找不到所以很好奇怎么做到的

另外好像SMIC BCD .18有35V的MIM, 我问别人的不太确定

lodestar6666 · 发表于前天 18:54

hnxyssy 发表于 2025-1-10 18:33
我在这篇I里面看到了用了80V的MIM Cap:

A 50.7% Peak Efficiency Subharmonic Resonant Isolated Capaci ...

论文里有图，Reinforced Isolation Layer，采用的是特殊的隔离层，不是常规MIM

[求助] 高压MIM电容

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