关于fuse的几点疑惑

陈卫霖 · 发表于 2024-11-12 15:54:34

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本帖最后由陈卫霖于 2024-11-12 15:55 编辑

关于fuse的一些疑惑如下，希望各位大佬不吝赐教！
1. poly fuse和metal fuse是否都需要做开窗？
2. 开窗的作用是什么？
3. 比如说开窗大小为9*9，是不是意味着以fuse为中心，附近9*9范围内不能有与fuse不相关的金属层次出现？
4. 不管是metal fuse还是poly fuse开窗位置是不是都需要垫一个浮空的nwell？这个nwell是不是为了防止fuse与衬底短路的？
5. 浮空的nwell会增加latch up的风险吗？

acrofoxAgain · 发表于 2024-11-12 16:07:53

回答部分问题：
poly fuse不开窗，也没法开窗。poly上面有几层介质，即使你用cont+vias+pad一路开到顶，平整化工艺也会把cont和vias填上。
开窗大小9*9的话，不止9*9的范围内不能有其他金属，一般还要留个安全距离。

maomao198477 · 发表于 2024-11-12 16:17:51

fuse 用的是fab提供的？如果是请仔细阅读相关文档说明

陈卫霖 · 发表于 2024-11-12 16:30:44

maomao198477 发表于 2024-11-12 16:17
fuse 用的是fab提供的？如果是请仔细阅读相关文档说明

没找到对应的文档说明，所以发个帖子问问

陈卫霖 · 发表于 2024-11-12 16:31:31

acrofoxAgain 发表于 2024-11-12 16:07
回答部分问题：
poly fuse不开窗，也没法开窗。poly上面有几层介质，即使你用cont+vias+pad一路开到顶，平 ...

metal fuse的话可以做开窗吗？

acrofoxAgain · 发表于 2024-11-12 16:42:22

陈卫霖发表于 2024-11-12 16:31
metal fuse的话可以做开窗吗？

metal fuse一般需要开窗

陈卫霖 · 发表于 2024-11-12 16:46:07

acrofoxAgain 发表于 2024-11-12 16:42
metal fuse一般需要开窗

好的谢谢

陈卫霖 · 发表于 7 天前

acrofoxAgain 发表于 2024-11-12 16:07
回答部分问题：
poly fuse不开窗，也没法开窗。poly上面有几层介质，即使你用cont+vias+pad一路开到顶，平 ...

请教一个问题，poly一般都是通过大电流烧裂来改变poly的结构，是不是poly fuse下面可以不用垫nwell了？

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