除了６种二级效应，还有那些效应

蒋赵威 · 发表于 2023-12-10 20:11:44

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本帖最后由蒋赵威于 2023-12-10 20:30 编辑

文章概述了版图邻近效应的研究及应用进展，介绍了Ｐｏｌｙ－ｇａｔｅ、Ｈｉｇｈ－ｋ／Ｍｅｔａｌ－ｇａｔｅ、ＦｉｎＦＥＴ等不同工艺下的６种版图邻近效应二级效应，包括阱邻近效应、扩散区长度效应、栅极间距效应、有源区间距效应、ＮＦＥＴ／ＰＦＥＴ栅极边界邻近效应和栅极线末端效应。在此基础上，详细论述了这些二级效应的工艺背景、物理机理以及对器件电学性能的影响，归纳了目前常见的工艺改进方法。最后，从工艺角度展望了深纳米工艺尺寸下版图邻近效应的发展趋势。