求助大神从工艺角度给讲讲

gitagao1206 · 发表于 2019-3-8 10:10:01

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记得刚入行的时候师傅说Floorplan的时候AA 要尽量整齐，但是就忘记这样有什么好处了，请大神给讲讲。

M_倾听 · 发表于 2019-3-8 11:02:22

我也是这样做的，但并不知道好处是啥，只是觉得布局整齐好看，期待大神的讲解

amzhong · 发表于 2019-3-10 01:04:08

整齐的match比较好，歪掉了受到的应力不均匀

gxd12 · 发表于 2019-3-11 09:07:25

同意楼上，主要是性能考虑。从工艺制造来讲，光刻-刻蚀-gap_fill-cmp这几步，整不整齐都无所谓的，只要符合design rule。

firewolf223 · 发表于 2019-3-11 16:32:15

没影响。看着好看
而且看你是啥工艺了

鲨鱼辣椒123 · 发表于 2019-3-12 20:04:27

莫名的笑了一下

p123qq · 发表于 2019-3-18 20:04:55

OD不齐，STI宽度会不同，应力会有区别，导致Vth、Ids会有差别

不识君 · 发表于 2019-3-21 16:11:25

还是匹配的需要吧

level90 · 发表于 2019-3-27 17:31:40

7楼正解！
之前论坛下的讲制造工艺影响的资料附上

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