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查看: 4510|回复: 5

[求助] 求工艺方面的

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duke_wang
发表于 2015-2-4 11:39:14 | 显示全部楼层 |阅读模式

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给fab厂的gds到mask这一步有一个check文件，文件中有layer Number/Name,CAD Bias/Logical Operation
Logical Operation：各layer的逻辑运算，
例：M5 ...（sizing -0.005)
     M6  ... (sizing 0.005)
为什么有的metal要涨size（只看到Top metal是涨），有的metal要缩size,所有的metal不是同涨或者缩的么
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icfbicfb
发表于 2015-2-6 10:28:00 | 显示全部楼层
logie operation table啊，就这样啊，fab就是这么生产的
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骏BB
发表于 2015-2-8 17:58:38 | 显示全部楼层
回复 1# duke_wang


    EB table 中写的吧，其他layer有size up，size down很正常，metal很少见，不过是切合工艺的制造的。
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feimou
发表于 2023-9-27 13:40:43 | 显示全部楼层
请问大佬，CAD bias是怎么由来的，不应该是我版图画多少就是多少吗，这中间怎么会产生bias呢
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发表于 2023-9-27 18:00:48 | 显示全部楼层


feimou 发表于 2023-9-27 13:40
请问大佬，CAD bias是怎么由来的，不应该是我版图画多少就是多少吗，这中间怎么会产生bias呢 ...


版图的尺寸是目标，但现实工艺会有光的衍射等因素影响。为了实现这个目标，大佬们研究了OPC和LOTA这玩意
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feimou
发表于 2023-10-7 10:10:29 | 显示全部楼层


不吃细糠的山猪 发表于 2023-9-27 18:00
版图的尺寸是目标，但现实工艺会有光的衍射等因素影响。为了实现这个目标，大佬们研究了OPC和LOTA这玩意
...


多谢解答
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