有人知道TG层HR层是用什么做的么？

点心 · 发表于 2013-9-27 10:17:54

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本帖最后由点心于 2013-9-27 10:33 编辑

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有人知道么？

allen_tang · 发表于 2013-9-27 11:26:36

去design rule里找，这些简称mask information都会有解释的。

ps: 话说用的umc工艺吗？我记得umc给mid-voltage device定义的OD2就叫TG

点心 · 发表于 2013-9-27 14:16:13

回复 2# allen_tang

我知道这些层是干啥的，但是我想知道它的材料是什么？为什么会有这个作用？
比如为什么加了TG就是中压了？为什么加了HR就可以变成高阻。。。
rule里面只找到说了有这个层啊~

allen_tang · 发表于 2013-9-27 20:27:26

回复 3# 点心

TG区域的gate-oxide保证比低压区域的厚，也有的工艺叫OD2，以保证gate-oxide可以承认更高的VGS电压。
HR我见的基本都是optional layer，作为DRC/LVS识别器件用。具体是否参与mask运算，参考mask tooling内的定义。

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