请教光刻列表中各类名称的含义，谢谢

appleyuchi2 · 发表于 2013-6-8 00:07:15

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

各位大牛好：
在一张表格中有如下名称：聚焦监控器、摩莱剑号、分割符Monitor、H型场对准标记、CD Bar、Vernier（游标）及套准
增加PVT层次，请问各位大神，他们是什么意思啊，谢谢！

felicris · 发表于 2019-4-21 22:04:06

Thanks

张学胜 · 发表于 2021-1-3 10:58:13

谢谢分享！

水仙君 · 发表于 2022-1-14 13:07:35

好几年过去了，学会了吗

yuanyuan98 · 发表于 2022-5-24 09:14:40

应该变身大牛了吧，相关简写可以整理个文档了

[求助] 请教光刻列表中各类名称的含义，谢谢