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楼主: keroppi

半導體製程概論講義 [蕭宏與張鼎張] [中文版]

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发表于 2018-12-17 14:31:25 | 显示全部楼层
回复 1# keroppi


    請問有 Chapter 12 嗎?
发表于 2018-12-18 01:56:08 | 显示全部楼层
非常感謝~~~
发表于 2019-1-30 08:12:20 | 显示全部楼层
thanks!!!!!!
发表于 2019-1-31 03:05:24 | 显示全部楼层
非常感謝~~~~
发表于 2020-8-26 19:55:58 | 显示全部楼层
Thanks! It's a good reference for me.
发表于 2024-1-19 13:33:38 | 显示全部楼层
thanks for sharing, take a look first..........dsasda
发表于 2024-12-4 22:07:51 | 显示全部楼层
miss chap 12 ??

  • 第一章 導論


  • 第二章 積體電路製程介紹


  • 第三章 半導體基礎


  • 第四章 晶圓製造、磊晶成長和基板工程


  • 第五章 加熱製程


  • 第六章 微影製程


  • 第七章 電漿製程


  • 第八章 離子佈植製程


  • 第九章 蝕刻製程


  • 第十章 化學氣相沉積與介電質薄膜


  • 第十一章 金屬化製程


  • 第十二章 化學機械研磨製程


  • 第十三章 半導體製程整合


  • 第十四章 IC 製程技術


  • 第十五章 3D IC 元件的製造過程


  • 第十六章 總結與未來趨勢


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