请教一下，tsmc28nm的1P10M，mask 需要多少层，我应该怎么根据版图去计算？

文中止不住

这个你要根据电路所用器件类型去查看对应的MASK Layer ,而与所使用的金属层没有太大无关，金属层是考验版图工程师的布线技巧，正常如果需要2层金属布线完成的版图，你优化到只有一层金属布线版图之后，少了一层，就少一层Mask的费用。

文中止不住

   

evanzh 发表于 2022-4-20 14:18
不过有一些辅助层，不清楚是否需要出mask，怎么办

辅助层是方便画版图用的，一般用于进行布尔运算。实际器件使用到的MASK，在PDK中会有对应器件的Physical Mask信息，仔细搜索一下PDK信息就会有，一般在详细设计规则前面点。