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[求助] PDK工艺参数转换成HFSS材料参数疑问

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发表于 2020-5-28 16:30:07 | 显示全部楼层 |阅读模式

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如图,我要在HFSS建立衬底模型,有以下疑问:
1、HFSS材料参数中我需要 Relative Permittivity 和 Bulk Conductivity 两个参数,对应工艺库给出的 Epsilon R和 Sheet Resistance 两个参数。Relative Permittivity 的值直接取Epsilon R 就可以, Sheet Resistance 到 Bulk Conductivity 还需要公式转换一下,有p=Rs*t,p电阻率,Rs方块电阻值,t材料厚度,Bulk Conductivity 取p的倒数即电导率。
但以衬底725um厚度算下来电导率在100 siemens/m,HFSS给的例子中这一值只有10,计算值为100是否合理?
2、衬底厚度问题。工艺库80 to 725um是什么意思,HFSS建衬底模型应该取多厚呢?
以上,有了解的朋友麻烦解答一下,提前感谢~
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