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[原创] 北京大学-李志宏教授的MEMS原理与器件-加速度计、陀螺仪

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发表于 2014-4-25 17:05:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

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北京大学-李志宏教授的MEMS原理与器件-包括加速度计、陀螺仪,设计工艺、结构的对比

MEMS 原理与器件.pdf

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李志宏教授

发表于 2014-4-27 09:10:27 | 显示全部楼层
學習一下慣性元件的工藝技術   感謝樓主分享
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发表于 2014-5-6 06:38:00 | 显示全部楼层
學習一下慣性元件的工藝技術
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发表于 2014-5-21 21:40:51 | 显示全部楼层
谢谢分享
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发表于 2014-7-2 14:29:59 | 显示全部楼层
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发表于 2014-7-2 17:13:39 | 显示全部楼层
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发表于 2014-7-7 21:16:28 | 显示全部楼层
感谢fey 分享。
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发表于 2014-8-5 15:50:47 | 显示全部楼层
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发表于 2014-8-5 17:14:33 | 显示全部楼层
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发表于 2014-8-6 10:28:57 | 显示全部楼层
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