|
|
马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。
您需要 登录 才可以下载或查看，没有账号？注册
x
** Error **
Deposition operation failed !
... aborting
terminate called after throwing an instance of 'std::logic_error'
what(): TbStopwatch::stop must be called pair-wise with TbStopwatch::start.
started with id = 86(mgoals)
stopped with id = 12(deposit command)
** Error **
Internal error !
... aborting
运行的是sentaurus 2013官方的CMOS工艺例子，每次deposit 1.4nm的oxide时就卡住，然后很长一段时间后就显示以上的错误。经过试验，淀积厚度增加到9nm以上的时候不会出错 |
|
/2 
eetop公众号
创芯大讲堂
创芯人才网
发表于 2013-11-22 11:14:57
楼主
