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Sentaurus Process的xrefine参数设置

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发表于 2017-7-12 15:17:51 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教各位:
refinebox min = 50.0<nm> max = 2.0<um> xrefine = {10.0<nm> 0.1<um> 0.2<um>}
上面红字表示X方向的上 中 下,因此应该是从小到大的顺序,但是为什么有的代码中第1个数字比第2个大?如下:

refinebox min= {-0.25 0.4} max= {0.4 0.6} xrefine= {0.1 0.06 0.1} yrefine= {0.1 0.01 0.1} oxide。





谢谢!
发表于 2017-7-12 15:51:21 | 显示全部楼层
回复 1# owl_feng


    中间小,上下大

根据需要,想怎么设置都行
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 楼主| 发表于 2017-7-12 16:14:49 | 显示全部楼层
回复 2# mdkcom2005

再请教:
refinebox min = 50.0<nm> max = 2.0<um> xrefine = {10.0<nm> 0.1<um> 0.2<um>}  这句前面min已经定义了最小网格间距是50nm,为什么xrefine中第1个10nm比min定义的更小?矛盾的。

应该怎么理解?

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