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查看: 3797|回复: 4

[求助] 在ESD器件中,SCR器件需不需要做SAB??

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发表于 2016-12-22 16:53:46 | 显示全部楼层 |阅读模式

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看了一下0.18的工艺,明确指出在MOS结构中需要加SAB,但是在SCR结构中需要吗?特别是最普通的SCR结构 请大神们指点一二!感谢
发表于 2016-12-23 16:35:16 | 显示全部楼层
建议到ESD专题下面发帖子,答案或许更专业。
发表于 2016-12-27 14:25:56 | 显示全部楼层
本帖最后由 fzu_physics 于 2016-12-27 15:15 编辑

我用的工艺都没用到SAB层
SAB层只是为了增大电阻,用在GGNMOS结构D端也只是为了增大耐压,为了节约成本少一层版,平常有用到GGNMOS都直接通过拉大D端cont  到 poly gate 距离,并在D端下直接加一个NW来增大耐压。
SCR结构pad端多了一个NW电阻以及PNP,耐压问题基本没考虑,俺是这样想的
 楼主| 发表于 2016-12-28 14:47:47 | 显示全部楼层
回复 3# fzu_physic
非常感谢!
发表于 2020-3-21 20:50:20 | 显示全部楼层
非常感谢。 我们期待着继续
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