如何在calibre中查看某层金属的密度

redapplepie

用calibre做DRC检查时，只是报某层金属的密度不符合要求。比如说只是报M1的密度小于30%，而不显示M1密度的具体数值（因此不知道距离30%还有多大差距）。请问如何才能使calibre显示某层金属的密度数值，怎么修改rule file?

Snowy2016

在run drc的目录下查看是否有名字与“density”、“den”、“DEN”等相关的文件。
若没有，请确认runset里面“#DEFINE DENSITY_CHK”、“#DEFINE DENSITY_CHK_PRINT”等相关的option设定是否正确。

redapplepie

回复 2# Snowy2016
谢谢回复。首先DRC目录下没有相关的报告密度的文件。在runset中设置是指在calibre interactive图形界面中设置吗？没有找到相应的内容啊。还是说在rulefile中设置？我对rulefile做了如图所示的修改，添加了黑框部分的内容，可以把金属密度输出到几个文件中，但是感觉这样太笨了。有没有更好的方法？

redapplepie

回复 2# Snowy2016
rulefile中只有DEFINE DENSITY_CHK的内容，见上图。没有DEFINE DENSITY_CHK_PRINT的内容，请问怎么写？

Snowy2016

回复 4# redapplepie

是在runfile中设定（大家叫法不一样而已），要输出文件应该是要增加命令行的，我这边的设定请参考下面图片描述内容。

Snowy2016

回复 4# redapplepie

刚刚的图片没有上传成功。

5454坏孩子

这个要找大神写个skill。

一席

我们去年用的smic的工艺，密度好多都小于30%，我们都是忽略的，你问问foundry，他们是不是制作的时候给解决了

Snowy2016

回复 8# 一席


   如果没有盖dummy blockage layer，fab会默认长dummy的...

Sarahlln

在report的那一堆文件里，有density的log文件，可以打开读到对应区域的密度