顶层金属做probe test要画多大？

silverpuma · 发表于 2016-10-18 10:21:00

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如题，看见别人的芯片中顶层金属有很多方框，确认每个方框都和一个信号连接在一起，估计是做probe用的。尺寸3um*6um，这个尺寸有要求么？我问台湾宜特，他们说要10um*10um，怎么回事？
Catch(10-18-09-22-34).jpg

kidd_han · 发表于 2016-10-18 11:05:52

一般都是10X10吧，太小可能和探针的接触就不好了。别忘开passivation

wind2000sp3 · 发表于 2016-10-18 16:18:02

test pad的尺寸是和test probe尺寸对应的，宜硕只能搞10x10说明宜硕的探针直径大约是10x10，这种尺寸的探针我以前买过，大于150美刀。已经不便宜了，如果你要更小的探针那就会更贵、随之配套的探针台也更贵。
所以小尺寸的有，但是贵~~

silverpuma · 发表于 2016-10-19 17:37:26

回复 3# wind2000sp3

明白了，非常感谢。

silverpuma · 发表于 2016-10-19 17:46:29

回复 2# kidd_han

非常感谢。

transistor7 · 发表于 2023-8-15 21:00:44

学习了！

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