GF0.18umCMOS 工艺中contact间距的问题

ydhb11 · 发表于 2014-6-25 10:03:41

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

使用GF0.18umCMOS工艺中遇到一个很头疼的问题，接触孔 contact 的数目大于4*4时，contact之间的距离必须大于0.28um。而candence中调出来默认的间距是0.25um。如果contact数目为3*100，0.25um的间距没问题，一旦为4*100或者4*4，那么就必须大于0.28um了。那位有好的办法，当调用contacts的时候，就能够修改contact的间距，默认是无法修改的0.25um.
感激