请问用 ADS Momentum 仿真片上螺旋电感 PGS 怎么设定？

lcw6021213 · 发表于 2014-5-26 15:09:06

回复 19# totowo

但是我现在只停留在模型仿真阶段，就是想加进去看看对模型有什么影响，所以就不知道该怎么加，很郁闷。。。。来这边发个帖，求助一下各位高手，看看有什么解决的办法。。。。

kwankwaner · 发表于 2014-5-27 09:24:00

回复 kwankwaner

HFSS下的模型我知道怎么画，上图，但是对PGS就不了解了，这个东西也是在看文献的 ...
lcw6021213 发表于 2014-5-26 15:02

登录/注册后可看大图

既然用hfss画的，就用hfss提取参数好了，另外算的是负值很有可能是你少算了个j，图上假设电感是由metal2和3组成的，其中3是一个跳层，那么2和3之间应该夹着一层氧化层；metal2下面应该有层氧化层，然后在其下面画你之前贴图形状的PGS，有哪些形状请自行google学术一下吧。PGS占用Metal1，然后下面是一层氧化层，再下面就是硅基，所有层包括金属层的厚度，介电常数，电导率都要和实际你用的工艺相同，这样提出来的结果才是对的。

wkfr · 发表于 2014-5-27 10:20:43

PGS 加的话在电感的正下方离的越远越好所以一般都用最底层的金属当然也有用Poly的用Poly的问题是仿真不太好仿因为Poly的下方的衬底是doping过了从而conductivity不好确定
PGS 的作用是阻止电感上的电场在衬底上激发出电流从而增加损耗因为Si衬底的conductivity刚好处于损耗最高的值附近要做成patten的主要是阻止涡旋电流在PGS上的损耗跟趋肤效应没有关系反而因为趋肤效应因为底层金属很薄所以虽然是铜但是损耗还是不能忽视同样的道理仿真的时候PGS肯定不能用 PerfectE 因为和实际情况不符
至于PGS是悬浮还是接地大家说法很多两种做法都有这个具体的看仿真结果吧我也没有做过具体的测试比较所以不敢绝对的说哪个优于哪个而且这个还是和频率有关的
但是仿真一定要逼近于真实的layout 不然结果会相差很大
楼主说的接地和不接地 Q值的变化应该和你的电感的自谐振频率有关自谐振频率低了你的电感值和Q值一般会高一点但是这个是不好的特别是当自谐振频率和你电感的工作频率比较接近的时候
如果工作频率不高比如10G一下一般的RF 工艺会有自带的电感尽量用这个吧毕竟是工艺厂家自己建模的考虑了自己工艺的变化应该比较准确
如果不得不自己做的话那就尽量能仿真到每一步所以个人觉得不推荐用Poly 做 PGS