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[求助] 工艺层次的厚度和浓度

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发表于 2013-3-13 09:59:16 | 显示全部楼层 |阅读模式

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有哪位高手对工艺层次的厚度和浓度有了解的,能不能告诉一下0.18um工艺各层次的大概厚度和掺杂浓度。比如:n+、p+、nwell、pwell、n-deep-well、n埋层 、还有STI的厚度。只要大概的数据就行,非常感谢!
发表于 2013-3-13 16:46:17 | 显示全部楼层
这个得看工艺手册,找老师要,或者管事的要
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 楼主| 发表于 2013-3-14 08:16:02 | 显示全部楼层
回复 2# lky000000
老师没有这些,请问你有这些参数的大概值吗?
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发表于 2013-3-14 09:27:31 | 显示全部楼层
回复 3# yj5520379
这个真没有,我现在用的不是018um的工艺,而且不知道不同的018um工艺这些参数是否也相同,还是找负责的人更可靠。
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