Advanced Micro & Nanosystems Volume 2 《CMOS – MEMS》

chinstone · 发表于 2011-2-16 13:02:05

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Advanced Micro & Nanosystems Volume 2 《CMOS – MEMS》

Volume Editors
O. Brand and G. K. Fedder

1 Fabrication Technology 1
O. Brand

2 Material Characterization 69
J. O. Paul and P. Ruther

3 Monolithically Integrated Inertial Sensors 137
G. K. Fedder, J. Chae, H. Kulah, K. Najafi, T. Denison, J. Kuang, and S. Lewis

4 CMOS–MEMS Acoustic Devices 193
J. J. Neumann and K. J. Gabriel

5 RF CMOS MEMS 225
T. Mukherjee and G. K. Fedder

6 CMOS-based Pressure Sensors 257
H.-J. Timme

7 CMOS-based Chemical Sensors 335
A. Hierlemann

8 Biometric Capacitive CMOS Fingerprint Sensor Systems 391
C. Hierold, G. Hribernig, and T. Scheiter

9 CMOS-based Biochemical Sensing Systems 447
J. Lichtenberg, H. Baltes

10 CMOS-based Thermal Sensors 479
T. Akin

11 Circuit and System Integration 513
C. Hagleitner and K.-U. Kirstein

Subject Index 579

veoncxmjler · 发表于 2011-2-16 15:18:42

非常感谢。。

qkq305 · 发表于 2011-2-23 11:12:00

xiexie

totalsea · 发表于 2011-4-13 16:44:13

回复 1# chinstone

good book

totalsea · 发表于 2011-4-13 16:45:34

回复 6# totalsea

good boko

totalsea · 发表于 2011-4-13 16:47:15

goo book

gouleb1 · 发表于 2011-6-25 06:02:22

MERCI

rainbowweather · 发表于 2011-6-25 10:55:25

markrichard · 发表于 2011-7-28 06:34:36

Thank you Thank you Thank you

iceone95 · 发表于 2011-9-5 01:59:40

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发表于 2011-2-16 15:18 | 只看该作者
非常感谢。。

[资料] Advanced Micro & Nanosystems Volume 2 《CMOS – MEMS》

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