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经典伯克列校内MEMS讲座用资料
这份资料是我见过的很经典的资料之一
为了给大家节省金币我先介绍一下内容
本资料是MEMS基础讲座用的资料
很多MEMS传感器都是靠MEMS器件的容量变化来工作的
这份资料里讲解了多种MEMS的容量计算方法和工作原理
并且分析的很具体。也总结出了很多计算公式。
在我刚开始接触MEMS工作是算是给了我很大帮助的资料之一 |
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MEMS.pdf
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