请教一下MIM_RF电容的layout画法

yangzy27 · 发表于昨天 21:12

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电容阵列在layout里是如图1所示的，我一开始以为是m5和m6作为上下极板，结果点开m6层的时候见如图2所示，看起来是在m6层有单独的两块区域作为上下极板？但是当我打过孔到M6层连接电路的时候，却会出现V5层的报错，V5层是M6连接到M5的过孔吗，以及这几个电容阵列如果同属一个电容需要用哪层金属将他们连起来吗？

maomao198477 · 发表于 3 小时前

分别M6 接出去就行啊

522526tl · 发表于 3 小时前

他中间有专门的mim层的，你别弄错了，去看看DM他的cross section图吧，搞清楚再用

sutaotao2001 · 发表于 2 小时前

Thanks

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