28nm 的电感设计中的金属层选择及结果差异

bluestatic123

在电感设计中发现一个问题，我们在28nm 做了两版的电感设计 （用EMX 建模），第一版使用了顶层超厚金属（32KA）和RDL层（28KA）这两层金属堆叠； 第二版使用了三层快哦没时间堆叠，顶层金属1（8KA），顶层金属2（8KA），RDL层（28KA）.    设计都是是用于LC振荡器， 预期震荡频率都是16GHz。

这两版实测差异是，第一版出来的震荡频率与仿真预期非常符合，大概是16G +/-1.5G 左右，  第二版的震荡频率比预期下降了10% ，直接低于LC振荡器的正常工作范围了，怎么调都到不了16G。


实测的结果也指向，看起来并不是电感值偏了很大，而是寄生电容有较大的变化，寄生电容的影响已经超过了LC振荡器中的C,  造成最终的结果偏差。

最担心的是，这种变化会在量产过程中产生很大的variation, 造成无法真正进入量产 。

请有经验的大佬发表一下看法，非常感谢！！！！！！！

yyyjjjyyy

你好，我是用smic28nm用emx生成电感，发现用顶层金属ALPA去做电感感值高但是Q值低，同样形状用次顶层金属MTT2去做，感值稍低但Q值更高。然后去调了smic有电感的标准工艺库发现在标准工艺库里面都是用MTT2去做电感。所以到底是用那层金属？请有经验的大佬发表一下看法，非常感谢！

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