改变孔大小对芯片有什么影响？在制造时有什么差异呢

这样的人 · 发表于 2023-2-21 19:40:39

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如题，有没有大佬知道

fengrlove · 发表于 2023-2-21 19:51:28

via size 变化？那不违反design rule

李幕白 · 发表于 2023-2-21 20:04:38

不能通过DRC

这样的人 · 发表于 2023-2-21 20:16:03

在满足drc时，变孔大小呢？

gxc_cjgs · 发表于 2023-2-22 09:40:19

太小不足过电流，太大会有趋肤效应，应该还会有应力问题。拙见，勿喷。

haydnzhang · 发表于 2023-2-22 12:20:13

via是固定大小，改变了drc过不了。

powerboy711 · 发表于 2023-2-23 10:33:18

改变孔大小也可以，但同时要保证metal包孔及active包孔等规则，我觉得问题不大，毕竟你也不可能放大得太离谱

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