纳米平台的行程和精度大概有多少？

lxm0916 · 发表于 2015-4-2 12:02:07

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纳米平台的行程和精度大概有多少？

llccmm · 发表于 2015-5-6 20:28:51

NM-Z-15H是一个集成了电容传感器的纳米平台（压电扫描扫描柔性引导平台）。这个平台有一个中空的芯，是用来在中间放微小的样品或光纤。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。

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