索尼用卷对卷工艺试制出100m长石墨烯片材

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索尼开发出了用卷对卷工艺制造石墨烯（碳原子呈二维连接的材料）的设备，并试制出了宽23cm、长100m的石墨烯片材。这是全世界首次制造出面积如此大 的石墨烯。该公司将在日本应用物理学会2012年9月11～14日于日本爱媛大学举行的第73届应用物理学会学术演讲会上发表演讲，介绍该技术和试制的详 细情况（演讲序号：14a-C1-11）。

　　在大面积石墨烯制造方面，韩国的厂商及研究机构一直走在前面。但是，需要高达1000℃高温环境的化学气相沉积（CVD）工序成为瓶颈，使用卷对卷工 艺的制造方法一直未取得成功。在日本，日本产业技术综合研究所开发出了使用300℃～400℃等离子体的CVD法，使卷对卷制造方式成为可能。但是，制造 出来的未必就是单层石墨烯，而是多个直径非常小的石墨烯片叠在一起的材料。这时石墨烯片材的薄膜电阻值为1000Ω/□左右。

　　此次索尼开发出了在约1000℃的工艺温度下同时使用CVD法和卷对卷方式的技术。具体做法是使电流直接流过石墨烯的触媒、同时也是CVD法基板的铜（Cu）箔，从而只对铜箔加热。这样便大幅降低了整个制造设备的热负荷。

　　索尼接着将在铜箔上制造的石墨烯片材转印到了PET薄膜上，试制出了透明导电薄膜。该薄膜的薄膜电阻值仅为200Ω/□，光吸收率为2.9％。