多晶电阻上面走金属一，会对电阻值有影响吗？

ccp106 · 发表于 2012-4-18 21:58:47

大牛，你们要多来指点大家，谢谢

Jjing · 发表于 2012-4-20 23:02:19

对于精确匹配的电阻，最好还是不要走电阻线，本身的连线最好也少走，氢化作用会使电阻值有偏差。

liaokeino · 发表于 2012-5-1 19:41:02

如果是注入电阻的话，特别是低注入，在上面走金属线，会影响电阻里面的载流子分布，会对电阻值产生很大的影响。但是你说的是poly电阻，这个考虑基本上师可以忽略的，但是要考虑到氢化作用对其影响。详情参考《模拟版图艺术》第五章电阻

yanlinjay · 发表于 2015-4-10 15:20:47

来看看。。

supericeman999 · 发表于 2015-4-10 16:56:46

學習了

sunshuanghao · 发表于 2015-4-11 14:42:05

学习了~~~~

lichunlin2019 · 发表于 2018-12-17 00:49:50

学习了。。。

大力射门 · 发表于 2018-12-25 23:59:48

学习了

firewolf223 · 发表于 2018-12-26 11:10:35

制程已经净化多少代了，这种.5 .35 的经验早就不适合先进制程了。
这两道工艺中间差了好几百道process，能有啥影响。
况且要是真的影响很大，fab 早就有研究data 了，到目前为止，哪有人研究M1 对Poly 阻值的影响

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