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标题: 求解silvaco定义了一个JFET结构，但是进程到掺杂就报错了。 [打印本页]
作者: lwq_119    时间: 2015-6-11 15:44
标题: 求解silvaco定义了一个JFET结构，但是进程到掺杂就报错了。
go atlas
mesh space.mult=1
x.mesh loc=0.000  spac=0.100
x.mesh loc=0.500  spac=0.400
x.mesh loc=1.000  spac=0.100
x.mesh loc=1.500  spac=0.400
x.mesh loc=2.000  spac=0.100
x.mesh loc=2.500  spac=0.200
x.mesh loc=3.000  spac=0.100
x.mesh loc=3.500  spac=0.200
x.mesh loc=4.000  spac=0.100
x.mesh loc=4.500  spac=0.400
x.mesh loc=5.000  spac=0.100
y.mesh loc=-0.500 spac=0.05
y.mesh loc=-0.400 spac=0.05
y.mesh loc=-0.300 spac=0.05
y.mesh loc=-0.100 spac=0.05
y.mesh loc=0.000  spac=0.001
y.mesh loc=0.500  spac=0.050
y.mesh loc=1.500  spac=0.050
y.mesh loc=3.000  spac=0.050
y.mesh loc=4.000  spac=0.050
y.mesh loc=5.000  spac=0.050

region num=1 x.min=0     x.max=5   y.min=0     y.max=5             material=silicon
region num=2 x.min=0     x.max=5   y.min=-0.2     y.max=0          material=oxide
region num=3 x.min=1.5   x.max=3.5   y.min=-0.2     y.max=-0.1     material=poly
#nwell
region num=4 x.min=0.5   x.max=4.5   y.min=0     y.max=2     material=silicon
#n+
region num=5 x.min=1     x.max=1.5   y.min=0     y.max=0.5   material=silicon
region num=5 x.min=3.5     x.max=4   y.min=0     y.max=0.5   material=silicon

region num=6 x.min=1.5   x.max=3.5   y.min=-0.2     y.max=-0.1    material=Aluminum
region num=6 x.min=1     x.max=1.5   y.min=-0.25     y.max=-0.2   material=Aluminum
region num=6 x.min=3.5     x.max=4   y.min=-0.25     y.max=-0.2   material=Aluminum

elec name=gate x.min=1.5   x.max=3.5   y.min=-0.2     y.max=-0.1
elec name=drain x.min=1     x.max=1.5   y.min=-0.25     y.max=-0.2
elec name=source x.min=3.5     x.max=4   y.min=-0.25     y.max=-0.2


#psub
doping  uniform conc=4e12 p.type region=1
#nwell
doping gauss conc=5e13 n.type region=4 ascii infile=concdata
doping gauss conc=5e16 n.type region=5 ascii infile=concdata
#doping gauss conc=5e13 n.type region=4 peak=0.5 char=0.5 junction=2.5
#doping gauss conc=5e16 n.type region=5 peak=0.1 char=0.1 junc=0.5

material material=Si        taun0=1.0e-7 taup0=1.0e-7
material material=Poly      taun0=1.0e-7 taup0=1.0e-7
material region=1 tc.a=2.27 tc.b=0 tc.c=0
material region=3 tc.a=7.9  tc.b=0 tc.c=0

save outf=JFET3.str
tonyplot JFET3.str
进行到dopingpsub就报错停止了。
求解
作者: liugao1998    时间: 2015-6-16 15:03
可能是网格和区域没有完全重合，你再画个图检查一下
作者: lwq_119    时间: 2015-6-16 16:03
回复 2# liugao1998


   我检查了一下，我发现主要原因是定义poly结构的时候有问题，我把region poly的部分注释掉就没事了。不知道poly这块有啥问题
作者: liugao1998    时间: 2015-6-16 16:44
你的网格顶端到y=-0.5，但是区域只到y=-0.25，这样肯定出错
作者: lwq_119    时间: 2015-6-16 17:04
回复 4# liugao1998

这么说网格顶太高了？应该和区域是一样的？
作者: lwq_119    时间: 2015-6-16 17:11
回复 4# liugao1998

go atlas
mesh space.mult=1
x.mesh loc=0.000  spac=0.100
x.mesh loc=0.200  spac=0.060
x.mesh loc=0.400  spac=0.060
x.mesh loc=0.600  spac=0.060
x.mesh loc=0.800  spac=0.060
x.mesh loc=1.000  spac=0.100
y.mesh loc=-0.500 spac=0.05
y.mesh loc=-0.400 spac=0.05
y.mesh loc=-0.300 spac=0.05
y.mesh loc=-0.200 spac=0.05
y.mesh loc=-0.100 spac=0.05
y.mesh loc=0.000  spac=0.05
y.mesh loc=0.500  spac=0.05
y.mesh loc=1.500  spac=0.10
y.mesh loc=2      spac=0.05
y.mesh loc=3.000  spac=0.20
y.mesh loc=4.000  spac=0.20
y.mesh loc=5.000  spac=0.20

#psub  
region num=1 silicon           x.min=0 x.max=1 y.min=0 y.max=5              
region num=2 oxide x.min=0     x.max=1   y.min=-0.2     y.max=0
#region num=3 oxide x.min=0 x.max=1.5 y.min=4.8 y.max=5
#region num=4 oxide x.min=3.5 x.max=5  y.min=4.8 y.max=5         
region num=5 poly  x.min=0.35 x.max=0.55 y.min=-0.3 y.max=-0.2

#nwell
region num=6 silicon x.min=0.05   x.max=0.95   y.min=0     y.max=2.5     
#n+
region num=7 silicon x.min=0.15     x.max=0.25   y.min=0   y.max=0.8   
region num=8 silicon x.min=0.6     x.max=0.8   y.min=0     y.max=0.8   
#gate
region num=9 Al x.min=0.35   x.max=0.55   y.min=-0.5     y.max=-0.35   
#D/S
region num=10 Al x.min=0.15     x.max=0.25   y.min=-0.3     y.max=-0.2   
region num=11 Al x.min=0.6     x.max=0.8     y.min=-0.3     y.max=-0.2
#sub
region num=12 Al x.min=1.5     x.max=3.5 y.min=4.8      y.max=5  

elec name=gate x.min=0.35   x.max=0.55    y.min=-0.5     y.max=-0.35
elec name=drain x.min=0.15     x.max=0.25    y.min=-0.3     y.max=-0.2
elec name=source x.min=0.6     x.max=0.8   y.min=-0.3     y.max=-0.2
elec name=sub   x.min=1.5    x.max=3.5   y.min=4.8      y.max=5  


#psub
doping  uniform conc=4e12 p.type region=1
#nwell erfc[(junc-peak)/char]=0.1 so (junc-peak)/char=1.15 and you can count the char  
doping gauss conc=5e13 n.type peak=0.5 char=1.3 junc=2 region=6
#n+
doping gauss conc=5e13 n.type peak=0.25 char=0.22 junc=0.5 region=7
doping gauss conc=5e13 n.type peak=0.25 char=0.22 junc=0.5 region=8


material material=Si        taun0=1.0e-7 taup0=1.0e-7
material material=Poly      taun0=1.0e-7 taup0=1.0e-7
material region=1 tc.a=2.27 tc.b=0 tc.c=0
material region=3 tc.a=7.9  tc.b=0 tc.c=0

save outf=JFET3.str
tonyplot JFET3.str
你再看看这个呢，我做一些更改，还是不行。区域有到顶端了，
作者: liugao1998    时间: 2015-6-17 09:21
改过的版本里还是有网格区没定义区域。一个最简单的验证方法就是把氧化层向上延伸
region num=2 oxide x.min=0     x.max=1   y.min=-0.5     y.max=0
作者: lwq_119    时间: 2015-6-17 13:59
回复 7# liugao1998


   哇塞，果然不报错了，但是出来的图形凌乱了，哈哈，我看看咋回事。
还有个问题，请教一下，就是在运行的时候，在金属区域时会报这个错误，你看是怎么回事呢？是不是也和网格有关系。
ATLAS> region num=10 aluminum x.min=0.6 x.max=0.8 y.min=-0.3 y.max=-0.2
** ERROR #  3 **
* Invalid parameter specification *
==> aluminum
ATLAS> #sub
ATLAS> region num=11 aluminum x.min=0.35 x.max=0.55 y.min=4.8 y.max=5
** ERROR #  3 **
* Invalid parameter specification *
==> aluminum
作者: huanyin    时间: 2015-6-17 14:18
非常感谢楼主分享
作者: liugao1998    时间: 2015-6-17 14:37
你要这样定义铝区域
region num=10 material=aluminum x.min=0.6 x.max=0.8 y.min=-0.3 y.max=-0.2
作者: lwq_119    时间: 2015-6-18 14:00
回复 10# liugao1998


   好的，我试一下
作者: lwq_119    时间: 2015-6-18 14:03
回复 10# liugao1998


   果然是可以了，我再改改网格。现在图形不是那么完美。谢谢前辈指点迷津
作者: lwq_119    时间: 2015-6-18 14:52
回复 10# liugao1998


   还要请教一下 ( , 下载次数: 27 )


上面这个图是仿真出来的结果，但是我发现出入的结深往左边便宜了，而且发现nwell左边的圆滑度没有那么好，这个应该从何处入手检查呢？
作者: liugao1998    时间: 2015-6-19 15:04
可能是因为x方向的网格不够细，当然也要看看高斯掺杂的参数设对没有
作者: lwq_119    时间: 2015-7-1 17:41
回复 7# liugao1998


   hi，大哥，我现在有个程序出现个问题，能帮我看看嘛？
这是一个磁器件3d的图形，但是仿真时图形始终出不来，不知道是为什么。

go atlas

mesh  three.d

x.m l=0    spacing=1
x.m l=50     spacing=1

y.m l=0    spacing=1
y.m l=20     spacing=1

z.m  l=0     spacing=1
z.m  l=8     spacing=1

#psub
region num=1  silicon  x.min=-25 x.max=25 y.min=-10 y.max=10 z.min=0 z.max=8
#nwell
region num=2  silicon x.min=-23 x.max=23 y.min=-9 y.max=9  z.min=4 z.max=8
#n-
region num=3  silicon x.min=-15 x.max=15  y.min=-6 y.max=6  z.min=6 z.max=8
region num=4  silicon x.min=17 x.max=23    y.min=-6 y.max=6 z.min=6 z.max=8
region num=5  silicon x.min=-23 x.max=-17  y.min=-6 y.max=6  z.min=6 z.max=8
#n+
region num=6 silicon name=anode  x.min=-2 x.max=2        y.min=-6 y.max=6  z.min=7 z.max=8
region num=7 silicon name=cathode_1  x.min=10 x.max=14   y.min=-6 y.max=6  z.min=7 z.max=8
region num=8 silicon name=cathode_2  x.min=-14 x.max=-10 y.min=-6 y.max=6  z.min=7 z.max=8
region num=9 silicon name=hall_1  x.min=18 x.max=22      y.min=-6 y.max=6 z.min=7 z.max=8
region num=10 silicon name=hall_2  x.min=-22 x.max=-18    y.min=-6 y.max=6  z.min=7 z.max=8

electrode num=1  name=anode  x.min=-1 x.max=1        y.min=-6 y.max=6  z.min=7.8 z.max=8
electrode num=2  name=cathode_1  x.min=11 x.max=13   y.min=-6 y.max=6  z.min=7.8 z.max=8
electrode num=3  name=cathode_2  x.min=-13 x.max=-11 y.min=-6 y.max=6  z.min=7.8 z.max=8
electrode num=4  name=hall_1  x.min=19 x.max=21      y.min=-6 y.max=6 z.min=7.8 z.max=8
electrode num=5  name=hall_2  x.min=-21 x.max=-19    y.min=-6 y.max=6  z.min=7.8 z.max=8

#psub
doping uniform conc=2e12 p.type region=1
#nwell
doping uniform conc=4e13 n.type region=2
#n-
doping uniform conc=4e15 n.type region=3
doping uniform conc=4e15 n.type region=4
doping uniform conc=4e15 n.type region=5
#n+


contact name=hall_1 resist=1e40
contact name=hall_2 resist=1e40
#contact name=cathode_1 name=cathode_2

tonyplot3d hall_v.str -set hall_v.set
models srh fldmob by=1


solve init

log csvfile=hall_v.csv
log outfile=hall_v.log

contact name=anode current
solve istep=0.0001 ifinal=0.001 name=anode


tonyplot hall_v.log -set hall_v.set

log off
作者: liugao1998    时间: 2015-7-2 15:15
器件结构没存，当然出不了图形
作者: lwq_119    时间: 2015-7-3 10:01
回复 16# liugao1998


   哎，忘了写这句话，后来找到原因了，嘿嘿
作者: 角度    时间: 2015-8-21 16:29
很想知道下你们学silvaco有没有实例的教程？我是新手，课题需要正在学，有没有比较好的教材推荐哈？谢谢高手前辈！~
作者: lonelypasser    时间: 2015-9-22 18:06
回复 18# 角度


    首先，你要有软件；其次软件中自带非常多example；根据自己需要学习~
作者: 任天堂    时间: 2015-9-22 20:44
下载一个好难啊
作者: aria_soong    时间: 2017-4-28 17:24
楼主，可不可以请教一些silvaco编程的知识呢，生长Ge组分渐变的SiGe层在athena仿真中应该如何编程呢？从Ge含量为0%增长到15%，Ge生长速率为10%-Ge um^(-1),拜托大神了。



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