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标题: 叠孔的问题，contact via1~x [打印本页]

作者: 蘑菇要冷静 时间: 2013-3-30 01:01
标题: 叠孔的问题，contact via1~x
假如版图中 diffusion 到 metal1 metal2 metal3 。我们需要cotanct via1 via2 这三种孔完全重合的放在一起和，错开放有深区别。各有什么效果，听前辈说，有些工艺是不可以将孔重叠着放的，望高手指教 ( , 下载次数: 100 )

作者: lixiaojun707 时间: 2013-4-1 14:19
有区别
孔重叠放置，电阻相对较小。

作者: 蘑菇要冷静 时间: 2013-4-1 22:12
回复 2# lixiaojun707

谢谢了，但是以前有工艺不准重叠放孔，不知道你遇到过，或者知道为什么吗？

作者: lixiaojun707 时间: 2013-4-2 09:13
之前工艺不准重叠放孔与芯片的平坦化有关，我猜测。
想在，我所遇见的工艺里，没有这个要求。但是，会强调：孔错开放置，电阻会比较大。对某些敏感电路影响大。

作者: dinggo 时间: 2013-4-2 09:18
楼上,并不完全如此,在引力较大的地方,以及本身就是多重叠孔时,我的建议是最好是错开放置,不然会有拉裂
芯片的风险.这种情况我遇到过

作者: motofatfat 时间: 2013-4-2 09:54
同意樓上的說法製程和良率考慮

作者: 蘑菇要冷静 时间: 2013-4-2 11:30
本帖最后由蘑菇要冷静于 2013-4-2 12:16 编辑

回复 5# dinggo

谢谢谢谢各位前辈的耐心解答

作者: zhanggd 时间: 2013-9-22 08:48
学习了

作者: allen_tang 时间: 2013-9-22 09:07
sticking via，即使工艺支持，也会有可能影响到良率。之前的公司有颗两年多的chip被customer说low yield，最后结果就是sticking via造成的。现在的做法就是能避开尽量避开~

作者: miaoyue1999 时间: 2013-9-24 09:40
回复 9# allen_tang

你们是做什么工艺的啊？0.35，0.5？还是大工艺，一般情况下，只要via不是太多都还好吧，要是比较多，电流比较大，是via错开打比较好，有个esd的专利就是要求cont，via错开打的

作者: allen_tang 时间: 2013-9-24 09:49
回复 10# miaoyue1999

90-130nm，CMP工艺的问题，虽然支持sticking via。

作者: miaoyue1999 时间: 2013-9-24 12:58
回复 11# allen_tang

是大片的via吗？还是由于via太少的原因？

作者: allen_tang 时间: 2013-9-24 15:56
回复 12# miaoyue1999

metal1跳到metal4，每层都是4颗via，single case，但是确实很讨厌，所以我们现在都能错开就错开，可靠性可是要几年时间才能看得出来。

作者: miaoyue1999 时间: 2013-9-24 16:49
回复 13# allen_tang

ok,了解了，thanks，因为我们现在内部都是叠着走的，无论是信号线之间的连接，还是power之间的连接，之前听说是要是信号线，最好是叠着走，电阻比较小，要是esd就要错开走，试验出真知啊~~~~~~ thanks

作者: xiuqi180 时间: 2013-9-24 20:01
学习了

作者: 巍峨山 时间: 2013-9-26 19:01
学习中

作者: 清醒的神话 时间: 2014-7-15 16:49
受益匪浅，谢谢各位前辈！

作者: lb75195328 时间: 2014-7-16 17:14
学习！！！！

作者: creek 时间: 2019-4-4 09:51

allen_tang 发表于 2013-9-24 09:49
回复 10# miaoyue1999

学习了。

作者: gtwft 时间: 2020-6-9 17:58
感谢各位前辈指点，学习中

作者: hjc19951212 时间: 2020-6-30 15:31
学习了

作者: 18530951516 时间: 2020-12-23 09:14
谢谢各位前辈的交流

作者: jeffej 时间: 2020-12-23 11:01
depend on process design rule

作者: cj_181888888 时间: 2020-12-25 17:32
学习了

作者: trampdada 时间: 2021-5-19 14:33
遇到了这个问题，如果孔重叠会有DRC的问题，所以说想让孔不重叠有什么命令可以进行控制么？用的inns，麻烦大神指导一下。

作者: jinzj7289 时间: 2025-6-9 14:38
学习了

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