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标题: Stanford 大学工艺培训课程 [打印本页]

作者: suk.qi 时间: 2011-7-20 15:30
标题: Stanford 大学工艺培训课程
本帖最后由 suk.qi 于 2011-7-20 15:48 编辑

主要是stanford大学的培训课程，包含了Cu制程的各个要点。
Gate_Dielectric (EOT ~ 20% TOX, Id∝Q_V, Oxide degrading Mechanism).pdf
Gate_Dielectric (SiO2 - SiON in NH3_N2O_NO, high~K).pdf
IBM_Silicides_Mann.pdf
Interconnection Silicides (same as polycides - salicides and metal gate).pdf
Interconnections -Copper & Low K Dielectrics (low RC delay, good EM, T↓t↑Gsize↑rho↓u↑).pdf
Interconnections -Copper & Low K Dielectrics.pdf
Low Power CMOS Process Technology (SS-leak, SiON, μ-Strained Liner, Hybrid Orientation, Wf, BTB, Halo, MG, SOI, FinFET, k~2.4, Tcap).pdf
Polycides, Salicides & Metal gate (segregation, diffusion and consumption).pdf
Scaling trends for the on-chip power modeling (Interconnection, Logic, Memory, Leakage and clock).pdf
Trends (α-scaling, Nanoscale, High-k, DG-FinFET, Isolation, Backend 3-D).pdf
TSUPREM4_Slides.pdf
USING TSUPREM-IV IN SWEET HALL.pdf
Integrated circuit isolation technologies.pdf
Future Devices (Heterostructure_DG MOSFET_Center Channel DG-FET, HEMT, I-MOS) - 3.pdf
Future Devices (Organic FETs,Molecular FET, Schottky SD Nanotube FETs) - 2.pdf
Future Devices (UTPDSOI, Non Planar MOSFETs, GeMOS - u3900, Egmin -Ileak_high) - 1.pdf
Interconnect Al (Mechanical properties, EM minimized@GB, Air-Gap).pdf
Interconnect Low k (weak polarization - nonpolar low-dielectric, minimize the moisture, Porous Materials).pdf
Interconnect Scaling (Multilayer, HF - Skin Effect, Delay, Resistivity, Thermal, Low-k).pdf
Shallow Junctions Slides (OED_ORD_TED, I↑V↓,defect ED in POLY several times faster, PAI, Bandgap Engineering, cl0_d0).pdf
Report of Lab activities (NMOS processing & simulation).pdf
GateOxNO_Kwong.pdf
GateOx_Schuegraf.pdf
NitOx_Kwong.pdf ( , 下载次数: 414 ) ( , 下载次数: 407 )
[attach]386740[/attach][attach]386741[/attach] ( , 下载次数: 430 ) ( , 下载次数: 340 )

作者: mypcbok01 时间: 2011-7-20 20:52
非常感谢

作者: zain 时间: 2011-7-20 21:21
顶下来看看先

作者: basildy 时间: 2011-7-21 10:17

作者: zhull 时间: 2011-7-21 11:15
Good, thanks.

作者: fixit 时间: 2011-7-22 22:13
学习学习

作者: ssrickyhuang 时间: 2011-7-24 08:02
ddddddddddddd

作者: ssrickyhuang 时间: 2011-7-24 08:11
ddddddddd

作者: ssrickyhuang 时间: 2011-7-24 08:17
ddddddddddddddddddddd

作者: ssrickyhuang 时间: 2011-7-24 08:19
ddddddddddddddddddddddd

作者: iyahsue 时间: 2011-8-12 14:22
GOOOOOOOOOOOOOOOOOD

作者: hei123 时间: 2011-10-7 11:00
多谢斑竹分享资料。

作者: henrylxq 时间: 2014-9-21 12:29
好东西，谢谢

作者: sky2city 时间: 2014-9-24 09:45
学习了.........................

作者: colinwang 时间: 2014-9-24 11:03
谢谢分享

作者: 小概率事件1983 时间: 2014-10-5 09:01
感谢分享！

作者: bdeepesh 时间: 2017-2-24 19:19
thank u...guys.....

作者: ptespojay 时间: 2017-11-8 19:32
Good, thanks.

作者: mustafa16 时间: 2017-11-9 04:11
thanks

作者: joshuacp 时间: 2017-11-9 05:54
Good.

作者: rnysun 时间: 2017-11-12 21:27
thanks

作者: qmax 时间: 2017-11-13 08:51
tks tks

作者: m7188 时间: 2017-11-25 00:27
thanks

作者: gsvgsv 时间: 2018-3-13 08:47
thanks

作者: tu_yjq123 时间: 2018-8-29 07:20
多谢分享

作者: igolaps 时间: 2025-9-8 18:57
thanks

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