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标题: non-silicide的poly电阻? [打印本页]

作者: kuohsi 时间: 2010-5-28 17:13
标题: non-silicide的poly电阻?
本帖最后由 kuohsi 于 2010-5-28 17:15 编辑

我们知道有silicide、salicide的工艺，
所以有non-salicide的poly电阻，
但是不是没听说有non-silicide的poly电阻?

作者: nowich 时间: 2010-5-28 17:54
有这种电阻哦~

作者: 有宋 时间: 2010-5-28 22:07
salicide是一种具体的silicide实现方式
polycide是另一种
下面链接有详细解释
http://hi.baidu.com/lixu1113/blo ... 15f70a908f9d6c.html

作者: lucia_wan 时间: 2010-5-29 14:31
salicide = silicide+polycide.

作者: analogmind 时间: 2010-5-29 16:46

我们知道有silicide、salicide的工艺，
所以有non-salicide的poly电阻，
但是不是没听说有non-silicide的poly电阻?
kuohsi 发表于 2010-5-28 17:13

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salicide 就是self-aligned silicide。和silicide 相比只是工艺流程上的改进而已，电阻物理上的性质没有什么区别。现在绝大多数主流工艺都是用salicide的。

作者: sxzong_hit 时间: 2010-5-29 21:52
楼上正解～～

作者: kuohsi 时间: 2010-5-31 17:23
请问non-salicide就是high-R poly吗?

作者: 有宋 时间: 2010-5-31 20:21
7# kuohsi

不是，non-salicide只是用sab阻挡silicide的形成，形成的是unsilicide的poly，单位阻值提高数10倍，但highR poly在这基础上还要阻挡离子注入，单位阻值较unsalicide要高

作者: kuohsi 时间: 2010-6-1 10:49
所以non-salicide poly电阻广义来讲就是non-silicide poly电阻吧!?

作者: awwddbb 时间: 2010-8-22 18:46
谢谢分享。

作者: hujiaomianhao 时间: 2014-3-23 11:46
谢谢分享

作者: yeshengseu 时间: 2014-5-23 20:48
学习了以前对此概念一直比较困惑......谢谢~

作者: 血溶伊剑 时间: 2015-1-6 13:48
终于不困惑了。。。

作者: mclsun 时间: 2015-1-15 08:59
终于弄明白了

作者: xinleiye 时间: 2015-9-17 10:26
受教了。

作者: 蓝一 时间: 2015-11-10 11:40
谢谢，你们的讨论，谢谢

作者: hankwu00 时间: 2015-11-12 15:31
回复 3# 有宋

感謝分享

作者: shangtianci 时间: 2016-6-8 23:51
学习了！

作者: wangy233 时间: 2016-9-21 13:25
受教了

作者: xuriver2012 时间: 2016-9-21 15:26
有收获

作者: lixindai 时间: 2018-9-14 15:41
学习了。。

作者: seanx 时间: 2018-9-28 12:04
受教了！

作者: liliheqing 时间: 2019-7-12 08:40
感谢分享

作者: SamuelShaw 时间: 2021-7-6 21:06
受教

作者: 我没有零钱 时间: 2021-11-11 08:35
为啥还有n掺杂和p掺杂的poly电阻？

作者: 猫2599 时间: 2022-6-9 13:54
感谢分享

作者: Kamon 时间: 2023-3-31 10:33
学习

作者: jld326 时间: 2023-9-10 20:37
多谢分享

作者: 小熊大肚皮 时间: 2024-7-13 17:12
谢谢你们的讨论

作者: 伽蓝听雨 时间: 2024-7-31 15:12
学习

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