日志
RPO/SAB的定义、用途、注意事项
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定义：
RPO（Resist Protect Oxide）、SAB（salicide block），其实属于同一种工艺逻辑运算层，在不同工艺厂家的两种叫法。
其作用均是工艺流程形成POLY后，在被RPO/SAB覆盖的区域阻止硅化物（salicide）生成，以保持poly较高的电阻率。
注：硅化物（salicide），能较好的降低poly电阻率，一般的poly区域希望电阻越小越好。
用途：
RPO/SAB常被用于高阻态的poly电阻、diffusion电阻及ESD device的D端，以此提高电阻及耐压；
RPO/SAB作用于ESD device的D端时，能保护D端不受大电流冲击，同时也是让电流更加均匀。
注意事项：
RPO/SAB使用需要谨慎，它会导致poly的电阻抬升，若作用于一般的管子或ESD管的Gate端会影响Vth导致管子响应速度变慢，降低管子驱动能力
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