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浙江芯动科技有限公司位于浙江省嘉兴市,是一家专注高端MEMS代工的生产加工企业。公司拥有先进的6英寸MEMS芯片产业化生产线,工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程。
公司技术团队中有多名具有丰富欧美MEMS制造加工经验的技术专家,其中2名为国家特聘专家(国千),技术力量在行业中已处领先位置。
芯动拥有700平米超净室,其中光刻区、键合区共150平米,净化等级为十级,刻蚀区、扩散区、薄膜区共450平米,净化等级为百级,是目前国内少数百级、十级洁净室,在高端MEMS传感器制造厂房中属先进水平,拥有完整的MEMS工艺设计、加工平台,可为国内外同行提供微纳器件研发、工艺代工、工艺测试等技术服务。
公司以6英寸体硅工艺为主,可实现多种工艺的加工服务: 光刻:接近式光刻(可双面)和步进光刻,最小线宽1um 薄膜制备:氧化、LPCVD、TEOS、PECVD 金属制备:E-beam、磁控溅射 湿法腐蚀:KOH、 BOE/HF等 干法刻蚀:RIE、DRIE(深宽比达到40) 键合:硅硅、硅-玻璃、金属共晶、金属热压等多种键合 压电材料制备:AlN 结构释放:气态HF刻蚀、XeF2刻蚀 减薄:机械减薄、CMP 网站参考:www.mfab.cn 联系电话:13957371015,金 |