TCAD工艺仿真问题

云燕飞99 · 发表于 2018-5-28 15:12:22

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在用TCAD进行工艺仿真时，关于各种模型（比如扩散模型、离子注入模型、刻蚀模型、氧化模型等）的介绍有没有中文资料？或者是有没有对这些模型介绍德比较详细的书籍？因为英文的资料看起来实在很费劲

,由于刚开始学习TCAD，求指导

14102058 · 发表于 2018-6-12 11:10:23

自己看Mauual

Y_HIT · 发表于 2018-6-21 10:06:41

关于TCAD工具的书籍有几本，可以网上搜一下，不同公司的TCAD的使用都有讲解，不算详细，但是可以入门，具体做还要自己摸索，浙大出版的还并不错，关于ESD的

hijackerhaha · 发表于 2019-8-7 12:36:24

一般都是英文的，中文只是简单的介绍。如果想把仿真做好，英文是必须的

mseyre · 发表于 2020-1-10 14:55:11

厉害

wpp1990 · 发表于 2020-3-30 10:36:23

这玩意必须得看manual才行，书籍的话，也要看英文的，中文的有很多翻译的很不到位的，看着比看英文的都费劲
可以看看wolf的Silicon Processing for the VLSI Era，半导体圣经这是，理论部分看III这个就好。
还有Silicon VLSI Technology Fundamentals，Practice and Modeling里的6、7、8章，也是讲理论的，都还不错

kyrayan · 发表于 2020-8-21 13:29:00

感谢楼上分享

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