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[求助] 请教tsmc0.25 nld40管子的结构

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发表于 2018-5-6 22:52:17 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教大家个问题,tsmc0.25工艺,里面有个nld40v管子,S和B端连一起,剖面图如下(请留意画圈处):

pdk的剖面图

pdk的剖面图





调到版图后,如下图:(红色是n+,绿色是p+,蓝色是OD)

调出单元

调出单元



画圈为不解之处,cont只在p+包围中。
并没有如PDK的剖面图一样,把cont跨接在n+和p+上,自己画剖面图如下:

自画剖面图

自画剖面图




请问各位:
1、S端是怎么与B端连接起来的?哪步工艺能保证让它们有连接,siliside?
2、如果这样可以连接,那S极接地的普通nmos管,是不是也不需要画S的孔了?或者普通管与高压管需区别对待。


发表于 2018-5-7 09:23:44 | 显示全部楼层
1.你的想法是对的,应该是通过silide连接的。
2.如果普通的nmos S和B 也是这种active是一整片的结构,那么S极不做contac也可以连接,但是并不是最好的结果,对于模拟电路版图来说还是有contact更好。
发表于 2018-5-8 15:42:07 | 显示全部楼层
我的看法 是 用 contact 連接在一起 , 從最上面那張圖看起來 cont 立於 p+ 和 n+ 交接處
所以 cont  同時 接在  S 和 B
发表于 2018-5-8 22:17:16 | 显示全部楼层
用metal1接在一起。
不可能通过salicide来接。
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