GF22 drc问题

hutiao · 发表于 2018-4-9 17:28:38

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在GF22工艺中，run drc出现GRM1.C.6这项错误，其错误输出的层次及其运算如下：
M1_CONFLICT_POLYGON = RET NMDPC
                           GRM1.S.1_SEP_M1
                           M1_allsplit
                           ......
                           GRM1.S.20a_SEP_M1
                           FILE M1_DP_FILE
                           MAP CONFLICT

or

M1_CONFLICT_POLYGON = DFM DP CONFLICT

                           M1_allsplit
                           GRM1.S.1_SEP_M1 ( OPPOSITE 0 )
                                 ......
                           M1_E1_anchor ( ANCHOR MASK0 )
                           M1_E2_anchor ( ANCHOR MASK1 )

请问上面红色字体的两个指令的作用是什么？

firewolf223 · 发表于 2018-4-9 18:31:32

哥能不能把rule description 说一下
再说下这是用哪个语言写的

hutiao · 发表于 2018-4-9 19:08:34

回复 2# firewolf223

这个就是Calibre drc rule里面的，RET NMDPC在svrf手册里面有，但是看不懂。

akwl2011 · 发表于 2018-4-10 09:03:01

RET NMDPC
Multi-Patterning SVRF Commands
Invokes Calibre nmDPC and splits the target layer into two masks.

hutiao · 发表于 2018-4-10 09:34:16

回复 4# akwl2011

请问上面的运算怎么理解？

firewolf223 · 发表于 2018-4-10 10:47:36

double pattern 的design rule
在check的时候需要拆分到两张mask 上check，主要是避免OPC 遇到拆不开的情况。
calibre 需要另外的multi patterning license才能用这几个命令
至于你问的上面的运算，你贴的太少了
要根据你的rule description 和前面更多的layer 定义来判断

hutiao · 发表于 2018-4-10 13:58:09

回复 6# firewolf223

语法如下：output_layer = DFM DP
            operation_keyword
            target_layer
            separator_layer ['('{SAME|OPPOSITE} [priority] ')'] [separator_layer...]
            anchor_layer '(' ANCHOR {MASK0|MASK1} [priority] ')' [anchor_layer...]
            stitch_layer '(' STITCH {REQUIRED|USER|MINIMIZE N| MAXIMIZE M} ')' [stitch_layer...]
         [UNFILTERED]
         [waiver_layer(WAIVER)]

现在就是搞不清target_layer、separator_layer、anchor_layer以及stitch_layer之间的关系。
我的理解是：将target_layer分解成separator_layer、anchor_layer或者stitch_layer。

firewolf223 · 发表于 2018-4-10 18:22:25

回复 7# hutiao

看了下manual 好复杂不想看了，哈哈
目前我们没有用到这个命令

snk88 · 发表于 2018-4-11 16:56:06

回复 7# hutiao

target_layer 想要把它们划分为double-pattern的层，就比如 m1 drawing

output_layer 是划分后的layer。可能是m1 colora/mask1或者m1 colorb/mask2 。也可能叫别的，反正就是划分到不同的mask了

anchor 这个比较好理解，就是强制铆定的点。比方说，想把某个特定的图形定为mask1,那它就是mask1 anchor

stitch 也好理解，就是mask1 和mask2 是否有重叠或者交叠

separator 就是划分的规则了，上它是成对出现的边，也就是edge-pair 。
比如两个矩形头对头多少距离，用ext命令产生 edge-pair。实际上就是个划分的规则或者依据。当然还有角对角，侧边对侧边，头对侧边等情况。

hutiao · 发表于 2018-4-16 17:52:45

回复 9# snk88

M1_CONFLICT_POLYGON = DFM DP CONFLICT

                           M1_allsplit
                           GRM1.S.1_SEP_M1 ( OPPOSITE 0 )
                                 ......
                           M1_E1_anchor ( ANCHOR MASK0 )
                           M1_E2_anchor ( ANCHOR MASK1 )
那M1_CONPLICT_POLYGON这一层有分配颜色么？还是说分配颜色是由DFM SPEC BALANCE/DFM BALANCE来确定？

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