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[求助] 感觉天线效应中的向下跳线法没什么作用,求大神指点?

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发表于 2018-1-7 16:28:27 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 北歌海盗 于 2018-1-7 16:30 编辑

看了天线效应的介绍,说解决天线效应的方法当中有个跳线法,分向上跳线和向下跳线。向上跳线我懂,可是向下跳线却不甚理解,感觉上层金属如果面积过大,积聚的电荷同样可以通过via进入到下层金属中,然后击穿栅氧化层。求各位前辈指点迷津。
发表于 2018-1-7 20:44:28 | 显示全部楼层
书还是要看看的
 楼主| 发表于 2018-1-7 21:04:29 | 显示全部楼层
回复 2# maomao198477


    什么意思?哪本书上有提到过吗,求指点
发表于 2018-1-9 22:30:26 | 显示全部楼层
所以需要在厚金属上面挖槽,就是为了解决电荷过多。新手,勿喷。谢谢
发表于 2018-1-10 00:08:48 | 显示全部楼层
是没什么用
在金属蚀刻的过程中,金属线会聚集电荷,如果积累过多了,就有击穿栅氧的风险,所以要想办法释放电荷,一个方法是加diode,一个是往上跳线。为什么不往下跳线呢?因为按照生产过程来看,往下跳的过程实际上金属还是通过下层via连起来的,是导通的,还是一大片金属啊。往上跳线的时候,当前金属是断开的,上层的via 还没有生产呢。

挖槽是解决应力的问题
发表于 2018-1-10 08:24:27 | 显示全部楼层
樓上的正確
发表于 2018-1-10 10:40:19 | 显示全部楼层
向下跳没毛病,把适当长度的上层金属换成一段或者多段下层金属
发表于 2018-1-10 17:27:52 | 显示全部楼层

标题

回复 7# mangoch
再怎么往下跳也没用
发表于 2018-1-11 17:05:27 | 显示全部楼层
回复 4# tjjsjin

这个跟slot没什么太大关系,主要是上下层跳线能减少电荷的积累,解决的办法主要是:本层积累的电荷在制版之前是需要去离子水洗,所以本层积累的电荷会很大程度的减少,放点后才会产生上层,当然如果上层线较长的话还是会产生电荷积累,这就是为什么会用跳线法去解决天线效应的原因,而slot开槽是为了解决过于宽的金属线,由于高温、应力等影响,会翘起变形甚至折断,所以需要slot开槽
发表于 2018-1-11 17:10:42 | 显示全部楼层
回复 8# 天上的叮叮猫儿


   你显然没明白7楼的意思。比如说M4违反了,把一部分M4走线换成M2,M4面积是不是减小了,这样也就不违反rule.向下跳不容易解决问题而已,并不是不可以。要理解别人的意思,不要武断。
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