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[原创] 创新方法——MEMS三维动态图,DHM拍摄

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发表于 2017-10-9 16:15:54 | 显示全部楼层 |阅读模式

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1、MEMS麦克风 2、MEMS悬臂梁 3、惯性传感器 4、MEMS微执行器
液体透镜结构形变.gif 微执行器.gif 惯性传感器.gif Acoustic-MEMS-Microphone-250kHz-sample2-crop.gif


原理:全息显微镜DHM采用CCD记录全息图包含物体相位信息,计算机实时重建得到物体实时三维图像。
特点:
1、同时测量面内和离面运动
2、面内运动精度达到1nm
3、超高速动态3D非扫描实时成像
典型用户:北京大学工学院——平面应力鼓膜测试平台
                   清华大学——半导体
Acoustic-MEMS-Microphone-250kHz-sample2-crop.gif
MEMS悬臂梁.gif
惯性传感器.gif
微执行器.gif
液体透镜结构形变.gif
发表于 2018-12-9 09:12:42 | 显示全部楼层
很酷的动图
发表于 2018-12-22 20:47:40 | 显示全部楼层
回复 1# lynceetec


        thanks
发表于 2019-1-12 14:54:38 | 显示全部楼层
henzan!!!!!!!!!!!!
发表于 2019-1-25 13:39:24 | 显示全部楼层
長知識了..謝謝.. 現的精度1nm..太牛
发表于 2019-5-7 09:27:08 | 显示全部楼层
谢谢
发表于 2020-3-17 12:38:31 | 显示全部楼层
不错的动图
发表于 2020-3-29 12:04:54 | 显示全部楼层
Excellent!
发表于 2020-10-26 23:22:14 | 显示全部楼层
pretty good
发表于 2021-1-10 10:07:28 | 显示全部楼层
good job
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