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楼主: roro_mm

[求助] IC51 修改格点到0.5nm

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发表于 2017-7-6 09:00:58 | 显示全部楼层
回复 1# roro_mm
你确定是0.5nm?不是你单位搞错了?你这也太小了
 楼主| 发表于 2017-7-6 14:25:19 | 显示全部楼层
回复 10# dotana

数据适应opc格点,需要达到这个。另外14nm或者7nm工艺应该开始也需要更小的grid了吧。
 楼主| 发表于 2017-7-6 14:25:58 | 显示全部楼层
回复 11# kevin_l


    是的,没有搞错。就是要到达和opc后格点一致。0.5nm。
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