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[资料] surface processes in MEMS technology

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发表于 2013-10-1 22:35:51 | 显示全部楼层 |阅读模式

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综述,详细介绍了表面微机械工艺中的一个重要问题,粘连。

Maboudian_surface_processes[1].pdf

4.41 MB, 下载次数: 99 , 下载积分: 资产 -3 信元, 下载支出 3 信元

发表于 2014-8-9 22:27:44 | 显示全部楼层
是1997年的东西
发表于 2014-8-12 20:26:11 | 显示全部楼层
好老的东西!!!
发表于 2014-11-21 14:05:02 | 显示全部楼层
surface processes in MEMS technology
发表于 2016-11-2 11:56:16 | 显示全部楼层
回复 4# ralphtw


    谢谢啊暗暗啊啊暗暗
发表于 2016-12-18 12:45:16 | 显示全部楼层
表面粘结联合问题
发表于 2017-9-13 13:11:07 | 显示全部楼层
谢谢楼主
发表于 2017-9-13 20:58:27 | 显示全部楼层
x谢谢了
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