求助：generated layer算法

allen_tang · 发表于 2013-6-5 11:20:47

回复 9# humphreyyu

一般mask tooling的文档里涉及到逻辑运算的都是要出mask的，然后fab会给你jdv的账号，登录后，你要手动测量fab给的mask上layer的大小，然后根据mask的尺寸，一般分为1:4和1:5两种(mask tooling里会注明)，然后跟layout实际值比，满足1:4或者1:5就说明fab给的mask information没错. 依次比对每层layer，每个区域，比如做了OPC跟没过OPC的，在chip上各个位置选择不同点测量比对，总之就是要谨慎全面。

humphreyyu · 发表于 2013-6-5 12:18:46

回复 11# allen_tang

您说的这些我都知道的，我的问题是运算出来的mask对不对，这个怎么判断啊？因为自己看不懂运算的公式，所以也不知道最终maskshop做出来的mask对不对啊？

humphreyyu · 发表于 2013-6-5 12:20:36

回复 10# icfbicfb

请教高手，@-0.3，这个负的0.3是什么概念？

allen_tang · 发表于 2013-6-5 12:37:31

回复 12# humphreyyu

这个有什么困难的吗？ layer的逻辑运算无非and not or xor size这些了，然后按照()顺序一个个计算，而且你这制程layer也不多，最多就几行。要是做tsmc 90nm带高压的制程还不用崩溃啊，几十层layer，我记得有几个layer的运算有一页pdf那么多，密密麻麻全是，找两个细心的人慢慢做，double check。

tuohong · 发表于 2013-6-5 13:21:57

简单的运算，可以直观得到或想象运算的结果是什么样子，这个比较好判断。
相对复杂的运算又一定要做JDV的，建议用例如calibre这样的工具，对你的GDSII文件进行逻辑运算操作，用生成运算后的层次，与JDV做对比。对比时尽量选取多个临界尺寸和不同运算参与层次的位置。

allen_tang · 发表于 2013-6-5 14:07:08

回复 15# tuohong

好方法，有时间要试试，有些复杂的算到让人崩溃~

humphreyyu · 发表于 2013-6-6 09:23:16

回复 15# tuohong

多谢指点，我要去看看calibre用户手册，仔细找找看。cadence里集成的calibre菜单里只到pex，没有关于jdv的内容，我看看怎么用去。

allen_tang · 发表于 2013-6-6 09:50:11

本帖最后由 allen_tang 于 2013-6-6 09:56 编辑

回复 17# humphreyyu

.......
这个用drc加lvs部分的option就可以写了，设定好逻辑关系，最后用drc check map就能吐gds了(这个option看calibre svrf就有详细解释)
传个文档你自己看看，主要是layer逻辑运算那部分写起来麻烦点，要注意()的运用.

使用Calibre工具实现EB处理.pdf (124.14 KB, 下载次数: 113 )

hanfeng006 · 发表于 2016-7-31 16:39:43

谢谢楼上分享

xuguishuang · 发表于 2018-4-12 14:42:00

谢谢楼上分享

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