实在弄不明白为什么画版图时有金属密度的要求...

wspyl · 发表于 2012-12-14 15:01:58

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为什么非要金属密度达到一个很高的要求才能流片呢，弄得最后都要在版图上覆盖密密麻麻的dummy金属块。

那位大牛对这个比较了解的能讲讲吗？谢了。

nickfury · 发表于 2012-12-15 19:25:01

刻蚀完成后，做平坦化时（CMP）时，金属密度达到一定要求。

C_J_Guo · 发表于 2012-12-16 23:14:58

补充一下：密度不一致会导致高低不平，平坦化做机械研磨的时候，密度过大的地方会把不想磨掉的磨掉，密度小的地方想磨掉的又磨不掉，PO和OD也会有密度要求，制程越小密度问题越明显。不对的地方，还望指正。

zhylg · 发表于 2012-12-16 23:24:57

如果clear区域过多，etch 时可能会有残留

jiesime · 发表于 2012-12-17 12:04:02

回复 1# wspyl

金属密度的检查在命令文件里应该属于DFM的检查，和DRC一样，是一个规则，为了保证产率，因此现在都写在DRC命令文件里了，你就当作drc规则好了。

celestin2011 · 发表于 2012-12-26 19:41:31

除了机械研磨时保持平整外，在化学蚀刻的时候还可以使得金属腐蚀得更均匀点，保护走线不被过度腐蚀而断掉。主要都是制造工艺上的要求，建议楼主都思考硅芯片的制造工艺流程~

dabing · 发表于 2012-12-27 10:10:55

3楼说的很清楚，如果还想了解详细点，建议买本书看看，书里都有解释的（Semiconductor Manufacturing Technology chapter18）

even_ryen · 发表于 2012-12-28 09:15:47

学习了

liuna1987 · 发表于 2012-12-28 22:18:21

谢谢大家的解答！

戴上面具做人 · 发表于 2016-3-28 10:30:27

学习了

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